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现场总线应用德克威尔远程IO模块闪耀半导体行业晶圆搬运设备的光芒

在晶圆制造领域,自动化的应用程度达到了工业制造中最为精细和先进的水平。其中,晶圆搬运作为半导体生产过程中的关键环节,其要求不仅是高精度与高速度,还需保证极低的污染率和最高的可靠性,这些条件对人工操作而言几乎是不可能实现。

为了确保晶圆在传送过程中的安全与质量,我们必须依赖于高度自动化的设备。在现代技术手段下,一张纳米级厚度的晶圆成本昂贵且脆弱,在传输时若非机器处理,很容易受到损害或表面污染。因此,晶圆搬运设备成为了整个加工流程中不可或缺的一部分,它们所表现出的性能直接影响了生产效率和产品质量,从而体现了整个系统自动化程度及稳定性。

在实际操作中,晶圆搬运设备涉及将这些宝贵材料从一个工作站移动到另一个工作站。在这个复杂过程中,不仅需要高速、清洁地完成物料交换,还需要考虑防止任何外部干扰以保持环境纯净。为了应对这一挑战,我们采用了一种独特方法,即将硅基晶圆置于专门设计的容器内,由机器人协助进行上料、加工以及下料等一系列精密动作,以避免任何人类接触导致污染。

德克威尔远程IO模块则提供了完美解决方案。在这项项目中,我们安装了FS系列数字量模块,这些模块分散地分布在移载机每个工作台,并负责传递信号至相应位置上的电磁阀。此外,每条输送线都配备有约7台FS系列I/O模块,以确保通讯稳定性并提高整体效率。我们选择西门子1200系列作为主站,同时适用于各种不同的工艺段落,并配置了200个数字量点来满足项目需求。

德克威尔FS系列一体式I/O模块因其多样化支持总线协议(包括EtherCAT、PROFINET、DeviceNET等),直插端子设计便捷快速安装,以及紧凑型号和优异通信性能受到了广泛赞誉。这类产品不仅被应用于物流行业,也广泛存在于半导体行业、高级单机自动化设备以及复杂机器人系统之中,是当今工业控制领域不可或缺的一部分。

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