数码

现场总线连接德克威尔远程IO模块在半导体行业晶圆搬运设备中的精彩应用

在晶圆制造领域,自动化的应用程度达到了前所未有的高度,这主要是因为这种工艺对精度、洁净度和可靠性提出了极高的要求,而人力参与往往无法满足这些需求。

晶圆搬运作为半导体制造设备中的一环,对于保证生产效率和产品质量至关重要。由于现代晶圆的尺寸已经达到纳米级别,它们既昂贵又易碎,因此传输过程中的任何错误都可能导致巨大的经济损失。此外,手动操作不仅会造成污染,还可能破坏晶圆表面,从而影响最终产品的性能。

为了解决这一问题,研发人员设计了专门用于搬运晶圆的设备。这类设备利用机器人技术来快速、高精确地将晶圆从一个容器移动到另一个容器,同时保护它们免受污染。整个搬运过程包括上料、加工和下料,每一步都需要严格控制,以确保晶圆不会受到任何伤害或污染。

德克威尔公司提供了一套完整的解决方案来支持这项工作,他们的远程输入输出(IO)模块与光刻机紧密集成,以实现板级或晶圆级产品移载。在项目中,使用了德克威尔FS系列数字量模块,这些模块能够完成输送线任务,并提高通讯稳定性。通过其FS系列一体式I/O模块,可以配置200个数字量点,为项目提供了必要的手段。

德克威尔FS系列I/O模块具有多种优点,如丰富的总线协议支持、快速安装设计、小巧紧凑等特点,使得它们在物流行业、半导体行业以及其他自动化单机设备中得到广泛应用。通过这样的技术创新,我们可以更好地保障生产过程中的每一个细节,让半导体产业走向更加精准、高效的地平线。

你可能也会喜欢...