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德克威尔远程IO模块赋能半导体行业晶圆搬运设备Can总线通信协议三要素引领创新应用案例

在晶圆制造领域,自动化的应用已经达到了前所未有的高度。其中,晶圆搬运设备作为半导体制造过程中的关键环节,其精度和速度对整个生产流程的质量和效率至关重要。德克威尔远程IO模块因其卓越的性能,在这种高要求的应用中展现出了其巨大的优势。

首先,我们需要了解晶圆搬运设备所扮演的角色。在这个复杂且细腻的过程中,每一道工序都必须保证精确无误,以避免损坏这些价值连城的微观材料。现代技术使得我们能够生产出纳米级厚度的晶圆,这些极为脆弱、昂贵且易受污染影响的小片才能成为后续加工步骤中的宝贵原料。

然而,由于这些小片材料既不宜人为操作也难以机器直接处理,因此专门设计了可以高速清洁搬运它们到下一个工作台或储存容器的地方——这正是晶圆搬运设备应尽职责的一部分。此外,由于搬运过程可能会导致污染,这些敏感物品通常被放入特殊保护盒内由机器人系统来进行精确控制从上载到下载再次移动至片盒之旅。

为了解决这一挑战,德克威尔提供了一系列解决方案,其中包括使用FS系列数字量模块。这类模块通过完成输送线任务并提高通讯稳定性,为项目带来了显著提升。此外,它们还能与主站西门子1200系列完美集成,并在适用工艺段(即半导体行业)中发挥作用。而项目I/O配置采用了200个数字量点,使得该系统更加灵活可扩展。

最后,不容忽视的是德克威尔FS系列一体式I/O产品本身,它们拥有丰富总线协议支持,如EtherCAT、PROFINET等,以及直插端子的快速安装特点以及结构紧凑、高通讯稳定性的优点。这使得他们不仅适用于传统工业环境,也广泛应用于物流行业、半导体行业乃至自动化单机设备及机器人工作站等场合,证明了其在不同需求下的多样性与强大能力。

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