在晶圆制造领域,自动化的应用已经达到了前所未有的高度。这里,高精度、高洁净度、高可靠性的要求是无法被人工满足的。晶圆搬运作为半导体制造中的一个关键环节,它不仅要求速度快,而且必须保持极高的精确性。
德克威尔远程IO模块在这一领域的应用,不仅满足了现场对稳定、精确和快速等方面的需求,更是赢得了客户的一致好评。在这个项目中,德克威尔IO模块与光刻机紧密合作,为板级或晶圆级产品移载提供了强大的支持。通过单机分布式安装,这些模块能够传输到位信号,并驱动对应工位上的电磁阀。
FS系列一体式数字量模块,以其丰富的总线协议(包括EtherCAT、PROFINET、DeviceNET、CC-Link和CC-LinkIE Filed Basic)为特点,它们能够完整地完成输送线上的任务。此外,这些模块具有直插端子和快速安装设计,使得它们既便于使用又结构紧凑。而且,由于通讯稳定,无数据丢包的问题,因此它们非常适合用于物流行业、半导体行业以及自动化单机设备和机器人工作站等场合。
总之,德克威尔远程IO模块在晶圆搬运设备中的应用,是实现工业4.0理念的一大步骤,它通过提高生产效率、保证产品质量,最终提升了整个加工系统的自动化程度和可靠性。