在晶圆制造领域，自动化的应用已经达到了前所未有的高度。其中，晶圆搬运设备作为半导体制造过程中的关键环节，其精确度、速度和稳定性直接关系到整个生产线的效率和产品质量。德克威尔远程IO模块正是凭借其卓越的性能，在这一领域脱颖而出。
01、行业深度
半导体工业中，晶圆是所有工艺流程中的核心材料，它们必须在各个处理站之间快速且精确地传送。这一过程对于任何外部干扰都异常敏感，因为微小的不稳定或污染都会导致晶圆损坏或降低其品质。因此，高科技水平下生产的大型纳米级别厚度晶圆更是需要极端细致的操作来避免损伤。
02、技术解析
为了保证这些昂贵且易碎的材料在搬运过程中得到保护，同时保持其洁净状态，现代晶圆搬运设备采用了先进机器人辅助系统。在这个系统中，不仅需要保证搬运过程中的高速、高准确性，还要防止任何可能引起污染的情况发生。
03、德克威尔创新
在解决上述挑战时，德克威尔IO模块成为了关键解决方案之一。它们通过与光刻机紧密配合，为板级或晶圆级产品移载提供了必要的手段。在项目实施中，我们主要将单个FS系列模块分布式安装于移载机每个工作站，并负责信号传输至对应电磁阀。此外，每条输送线还配备了约7台FS系列远程I/O模块，以增强通讯稳定性并完成输入输出点任务。
04、FS系列优势展现
德克威尔FS系列一体式I/O模块以其多样化总线协议支持（包括EtherCAT, PROFINET, DeviceNET等）以及快速安装特点而受到青睐。此外，由于设计紧凑且结构坚固，这些模块适用于各种环境，从物流行业到半导体加工再到自动化单机设备，以及复杂机器人工作站等场合。而其通信可靠性和数据无误丢失，是客户选择我们产品不可磨灭的一大原因。
