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现场总线技术的精彩实践德克威尔远程IO模块在半导体行业晶圆搬运设备中的卓越应用

在晶圆制造领域,自动化的应用程度达到了工业制造中最为精细和广泛的水平。这种行业特有的高精度、高洁净度、高可靠性要求,使得人工参与变得不可行。晶圆搬运作为半导体制造过程中的关键环节,其任务是确保晶圆能够快速且准确地在不同的处理站之间进行传送。

现代科技已经使得我们能够生产出纳米级厚度的晶圆,这些极其昂贵、精密和易碎的材料,在传送过程中如果依赖于人工操作,极易受到损坏,并且会对其表面造成污染。因此,设计出高效、可靠的搬运设备成为了提升整个加工系统自动化程度和提高产品质量的关键因素。

对于这样的需求,德克威尔远程IO模块提供了一套完善而灵活的解决方案。在实施项目时,我们将这些模块单机分布式安装到移载机上的各个工作站,以便实现对应电磁阀驱动以及信号传输。此外,由于FS系列数字量模块具有强大的输入输出点功能,它们能够有效完成输送线上所有必要任务,从而显著提高了通信稳定性。

具体来说,该项目使用了西门子1200系列主站,与之配套的是德克威尔FS系列数字量模块,为该项目提供了200个I/O点配置。此外,这款FS系列一体式I/O模块具备多种优势:支持包括EtherCAT、PROFINET等在内的一系列工业总线协议;具有直插端子设计,便于快速安装;结构紧凑小巧;数据通讯性能稳定,不会出现丢包问题;适用于物流行业、半导体行业乃至其他自动化单机设备及机器人工作站等多个领域。这使得它成为目前市场上广受欢迎的一款解决方案。

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